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Entspricht den Standards für Halbleiter-FOUP-Kassetten, um eine genaue Erkennung von FOUP-Kassetten zu ermöglichen, ohne dass diese durch das Material, die Farbe oder das Reflexionsvermögen des Kassettenbodens beeinträchtigt werden.
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| Modelle | EE-SPY801/802 | ||
| Schaltabstand (Standard-Schaltobjekt) |
0 bis 5 mm (Weißes Papier: 15 × 15 mm2, Reflexionsfaktor: 90 %) 0 bis 3 mm (Schwarzes Papier: 15 × 15 mm2, Reflexionsfaktor: 10 %) |
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| Wahrnehmungsobjekt | Transparente oder undurchsichtige Waferträger | ||
| Betriebsanzeige | Leuchtet orange, wenn ein Objekt erkannt wird. | ||
| Lichtquelle | GaAs-Infrarot-LED mit einer Spitzenwellenlänge von 940 nm | ||
| Versorgungsspannung | 12 bis 24 VDC ±10 %, Welligkeit (pp): 5 % max. | ||
| Aktueller Verbrauch | 30 mA max. | ||
| Steuerausgang | NPN offener Kollektor: Lastversorgungsspannung: 5 bis 24 VDC Laststrom: 100 mA max. AUS-Strom: 0,5 mA max. 100 mA Laststrom bei einer Restspannung von max. 0,8 V. 40 mA Laststrom bei einer Restspannung von max. 0,4 V. |
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| Ansprechzeit | 5 ms max. | ||
| Ambientebeleuchtung | 3.000 Lux max. mit Glühlampenlicht oder Sonnenlicht auf der Oberfläche des Empfängers | ||
| Umgebungstemperaturbereich | Betrieb: – 10 bis +55 °C Lagerung: – 25 bis +65 °C (ohne Vereisung) |
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| Umgebungsfeuchtigkeitsbereich | Betrieb: 5 % bis 85 % Lagerung: 5 % bis 95 % (ohne Kondensation) |
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| Vibrationsfestigkeit | Zerstörung: 1 bis 500 Hz, 1,0 mm Einzelamplitude oder jeweils 150 m/s2 in X-, Y- und Z-Richtung, 3-mal und für 11 Minuten. jede |
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| Stoßfestigkeit | Zerstörung: 500 m/s2 jeweils dreimal in X-, Y- und Z-Richtung | ||
| Schutzart | IEC IP30 | ||
| Verbindungsmethode | Vorverkabelt (Standardlänge: 2 m) | ||
| Gewicht (verpackt) | Sensor: Ca. 43 g; Zubehör (Sockel): Ca. 9 g | ||
| Modell NPN-Ausgang | EE-SA801A | EE-SA801A-R | EE-SA701-R |
| PNP-Ausgang | EE-SA801R | EE-SA801R-R | EE-SA701P-R |
| Indikator | Leuchtet rot, wenn der Betätiger gedrückt wird. | Leuchtet rot, wenn nicht belastet ist der Aktuator |
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| Freie Position (FP) | 5,0 ± 0,4 mm | ||
| Betriebsstellung (OP) | 3,5 bis 4,5 mm *2 | ||
| Gesamtwegposition (TTP) | 0 mm max. | ||
| Betriebslast *3 | 3 N max. (typisch: 0,5 N) | ||
| Versorgungsspannung | 12 bis 24 VDC ±10 %, Welligkeit (pp): 10 % max. | ||
| Aktueller Verbrauch | 35 mA max. | ||
| Steuerausgang | NPN-Modelle: NPN offener Kollektor, 5 bis 24 VDC, 50 mA max.; Restspannung von max. 0,4 V bei 50 mA Laststrom Ausschaltstrom: 0,5 mA max. PNP-Modelle: PNP offener Kollektor, 5 bis 24 VDC, 50 mA max.; Restspannung von max. 0,4 V bei 50 mA Laststrom Ausschaltstrom: 0,5 mA max. |
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| Schutzschaltungen | Verpolungsschutz der Stromversorgung | ||
| Umgebungstemperaturbereich | Betrieb: -25 bis +55 °C Lagerung: -30 bis +60 °C (ohne Vereisung oder Kondensation) |
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| Umgebungsfeuchtigkeitsbereich | Betrieb: 5 % bis 85 % Lagerung: 5 % bis 95 % (ohne Kondensation) |
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| Mechanische Haltbarkeit | 5.000.000 Betätigungen min. (Eine Betätigung erfolgt von der freien Position in die Betriebsposition und zurück in die freie Position.) |
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| Vibrationsfestigkeit | Zerstörung: 10 bis 500 Hz, 1,0 mm Einzelamplitude oder 150 m/s2, jeweils dreimal in X-, Y- und Z-Richtung für 11 Minuten. jede |
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| Stoßfestigkeit | Zerstörung: 500 m/s2 jeweils dreimal in X-, Y- und Z-Richtung | ||
| Schutzart | IEC IP40 | ||
| Verbindungsmethode | Vorverdrahtet (Standardkabellänge : 1 m) |
Vorverkabelt (Roboterkabellänge: 1 m) | |
| Gewicht | Ca. 16,1 g |